二手 VARIAN Viista 810 #193756 待售
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已售出
ID: 193756
晶圆大小: 12"
优质的: 2000
Medium current implanter, 12"
Specifications:
VIISTA 810 End Station (includes polished load lock chambers)
Standard power kit
(3) High voltage warning display
Tungsten Bernas gas ion source
Bernas source Dual vaporizer
Standard Gas Box, external inert purge
External Argon (position #1)
SDS BF3 gas card (UY Bottle) (position #2)
SDS Arsenic gas card (JY Bottle) (position #3)
SDS Phosphorus gas card (JY Bottle) (position #4)
Pigtail select
External inter purge gas facility
Minimized Gas mix manifold
Bottle adapters
Rotating Mass slit assembly
Water-cooled CTI 9600 Cryogenic compressors (2 each) onboard
Chiller unit for wafer chuck (R507 refrigerant)
Xenon Gas for PFS flood gun (Lecture bottle)
Scanning faraday
12" Wafer Chuck
Dose Processor Assembly
Dose Controller
Profiler Drive Assembly
VCS Computer system
Plasma Flood Gun Kit
Closed Loop Faraday assembly
Manometer kit, 3 readouts
Spectra RGA Hardware integration
PMS particle monitoring hardware integration
Varian control system software: Rev 03.03.0118
Configuration Software Viista 810 Rev M1 config 503
SECS / GEM communication capable
Cryo Pumps:
(3) CTI 250F for endstation
(1) CTI 250F for beam-line
Roughing Pumps:
(1) Edwards iQDP40 in HV Terminal
(1) Edwards iQDP80/QMB500 for endstation
(1) scroll pump for differential seals
Turbomolecular Pumps: Varian ICE turbo pump kit
V700 on the filter, V300 on the source
Vesda Smoke Alarm System, Model VLC-500 detector
Currently installed
2000 vintage.
VARIAN Vista 810是一种高性能的离子植入器和监控器，用于将离子精确可靠地植入底物。它提供了先进的技术，为广泛的应用实现离子的最精确和精确的植入。Vista 810采用定制扫描设备,以确保扫描的一致性和准确性,确保卓越的植入质量。Vista 810可以处理广泛的植入应用。其令人印象深刻的光束均匀性和准确性使其非常适合用于先进的半导体工艺开发或生产。该系统旨在利用其他VARIAN离子植入器技术，包括磁约束离子束、准直离子束和粒子束扫描。Vista 810具有先进的超高压离子源,可在各种能量下提供多种离子。该源提供了比传统源更高的植入精度。该单元还包括一个先进的离子束轮廓监测仪，用于测量离子被植入时的位置。该监视器允许快速检测光束轮廓中的任何失真。Vista 810还支持一系列旨在增强植入过程的其他功能。该机允许实现不同的光束线配置，包括使用可变孔径和光学元件等附加元素来实现优化实验。Vista 810还配备了先进的数据收集和分析功能。这有助于准确地表征各种材料的植入物轮廓,从而提高性能。总体而言，Vista 810是一款先进的离子植入器和显示器，旨在提供卓越的植入精度和均匀性。其多种特性和功能使其非常适合用于高级半导体和生产过程。凭借其先进的扫描工具、高压离子源以及数据收集和分析功能，Vista 810为广泛的植入应用提供了可靠的植入和监控。
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