二手 VARIAN Viista 810 #62638 待售
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ID: 62638
Medium current ion implanter, 8"
CE Marked
Energy Range: 5 – 810 keV
Dose Range: 1xe11 – 1xe16
Programmable Tilt Angle: +/- 60deg
Source Type: IHC Source Tungsten
Cassette Interface:
2 Bolt-On Asyst LPT-2200
PRI Robot Handler
Chuck Type: Gas Cooled ESC (Composite Platen)
Options:
Low Energy upgrade
Thru Beam Wafer Mapping system
DELL Server (IAN)
VESDA Smoke Detector system (Laser Plus)
GEM / SECS
Std Network Comm. Capability
End Station Cryo Pumps:
Process Chamber: 3 Brooks/Helix OB-250F
Scan Chamber: Brooks/Helix OB-250F
Turbo Pumps:
Source Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP without Gate Valve Service PC
Beam Line Turbo: Pfeiffer TPH 521 YP
Left Load-Lock: Pfeiffer TPH 521 YP
Right Load-Lock: Varian V300C
Gas Configuration:
AsH3 - SDS
PH3 - SDS
BF3 - SDS
Ar (N2) - HP
XE (N2) - HP
Software:
NCS / IAN: Win2k pro
VCS: v 6.70 SP3
V 208, 3-Phase, Freq 50Hz
2001 vintage.
VARIAN Viista 810是集成离子植入器和监视器。Viista 810由离子植入技术的领导者VARIAN开发,并在这个高度专业化的领域拥有60多年的经验,在离子植入和监测的关键领域提供了更强的能力。在其核心，810是一种高性能的离子植入器。它能够以极高的精确度在各种材料中植入多种物种和能量，创造出比以往更高的吞吐量。通过使用高度聚焦的光束、加速电压和先进的光学器件，与市场上的其他机器相比，810提供了更高的控制范围和精度。此外，810每秒最多可植入40个离子，总电流负载高达400毫安。然而，VARIAN Viista 810真正出色的地方是它令人印象深刻的监控能力。本机采用原位光束发射光谱（IOES）传感器，实时测量离子能量和其他光束特性。这一级别的控制让VARIAN开发并实现了先进的控制算法，保证了植入层的均匀性和可重复性。此外，810配备了最先进的高度控制系统。通过将最大加速度电压提高到30 kV, Viista 810保证了光束角度的恒定控制,从而实现了更高的旋转跟踪精度-即使在高倾角下也是如此。如果检测到危险的光束状况，这种尖端系统还能提高植入过程中的安全性。这有助于降低人为失误的风险，并显着提高生产效率和质量。综上所述,VARIAN Viista 810是一款集成的离子植入器和显示器,与市场上的其他型号相比,可提供更强的控制和精度。它的原位光束光谱传感器和自动关闭安全功能提供了前所未有的控制水平,最终有助于降低植入过程中发生人为错误的风险。
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