二手 VARIAN Viista 810 #9226925 待售

VARIAN Viista 810
ID: 9226925
晶圆大小: 8"
Medium current implanter, 8".
VARIAN Vista 810是一种离子植入和监控设备,设计用于高效准确地控制离子植入。该系统提供稳定、高精度的环境,确保植入离子的准确放置和植入。该装置采用高压发电机、激光制导光束定位机、光束监控器、离子电流反馈控制。VARIAN Vista 810使用超低噪声功率调节器优化离子束功率传递。这个调节器由一个高压发电机组成,产生高达99 kV的脉冲和高达1 GBq的离子电流。发电机配有激光引导光束定位工具,用于离最大能量点的离子束精确定位。此外,资产利用光束监测器和离子电流反馈控制,以确保精确的离子植入和剂量。该模型使用具有图形用户界面(GUI)的专用数据采集和控制设备(DACS)。此功能允许快速、方便地进行数据采集和控制。此外,DACS和GUI允许用户自定义系统的设置和参数,如梁参数、梁轨迹和安全限制。VARIAN Vista 810的设计考虑到安全性,提供互锁电路、电弧抑制电路、离子宽带护目镜等众多安全设施。这种先进的安全装置有助于减少人员在植入过程中可能接触到的有害电离颗粒。最后,该机器配备了一套全面的服务和支持功能,以确保刀具保持峰值性能运行。这包括技术支持、培训、备件、故障诊断和维护服务。VARIAN Vista 810的所有这些特点,加上资产的用户友好型设计和卓越的性能,成为高效、精确的离子植入的绝佳选择。
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