二手 VARIAN Viista 810 #9411062 待售

VARIAN Vista 810是一款高度可靠、先进的离子植入器和显示器设备,致力于满足半导体器件制造中的各种工艺要求。它具有完全可定制的解决方桉,具有高度的流程灵活性,可满足特定的客户要求。在原型设计时,Vista 810有助于快速、可靠地描述和集成复杂的流程,以支持完整的产品鉴定流程。它建立在着名的VARIAN 810型架构之上，经过多年的测试和验证；其直观的用户界面和直观的图形工具使其易于操作和维护。Vista 810有两种类型的离子植入器；传统的中电流植入器，俗称直流植入器，先进的高电流植入器，又称交流植入器。介质电流植入器的标准分辨率为0.1 μ m,可通过可选的图像校正组件进行修改。获得专利的磁性隔膜技术支持了精确控制掺杂谱的能力。Vista 810可实现任何植入系统中最高的一流离子均匀性。先进的大电流植入器通过聚焦在大面积的小光束提供最大的灵活性，以植入大基板。它还提供严格的过程控制，导致快速循环时间和精确的离子均匀性在整个底物。八区光束单元确保快速准确的光束跟踪，有效的植入。Vista 810还配备了先进的ADIStab监视器和刺激器,可同时检测和塑造来自工艺环境的影响。该工具能够通过精确、时间驱动和能源中立的监测和刺激功能检测和控制意外的过程变量，提供精确和可靠的过程控制。该资产设计用于半导体制造过程中的精确高效植入，并附带各种精密操作的工艺、控制和分析工具。该模型还提供过程安全监测，确保保持适当的参数组合，以取得最佳结果。Vista 810是一种可靠的工具,可用于模拟、分析和优化植入过程,同时提供精确而可靠的结果,并提供毫不妥协的可靠性。