二手 VARIAN VIISta 810EHP #9096214 待售

VARIAN VIISta 810EHP是世界上最先进的半导体器件制造工艺的高性能离子植入器和监控器。该810EHP结合了高生产率和精确度以及最新的MEMS、SOI和先进的CMOS技术。该810EHP提供了一个全自动的"闭环植入"设备，允许用户主动监控和控制植入过程，以提高准确性和生产一致性。该系统能够快速调节光束能量和剂量，给用户更大的控制植入特性，如路径长度，侧壁角度，和掺杂轮廓。该810EHP采用复杂、多区域、单磁铁电源和高效光束扫描仪，提供精确的植入控制。八区扫描仪增加了设备的速度和灵活性。该810EHP还具有先进的实时分析功能，允许操作员在植入操作期间调整束稳定性和剂量。集成的、高分辨率的数字狭缝成像发生器允许操作员在植入过程中监视和控制植入物角度，这对于实现所需的掺杂物轮廓非常重要。该810EHP能够产生一致、精确和可重复的植入物轮廓，剂量均匀。该810EHP旨在满足高批量、高速生产的苛刻要求。它具有强大、安静的冷却机和重型电源,在高温和工作周期中具有长期的运行稳定性。810EHP还配备了坚固的11位晶片盒式磁带，具有可靠的装卸机构和可调节的盒式磁带速度，以提高吞吐量。该810EHP是一个高性能的离子植入器和显示器，提高精度，生产一致性，并控制先进的半导体器件制造工艺。集成的多区域电源和先进的数字狭缝成像发生器提供了精度、稳定性和可重复性。该810EHP专为高容量、高速生产而设计，具有强大、安静的冷却工具和重型电源，方便的晶圆盒式磁带，以及快速的装卸机制，以提高吞吐量。