二手 VARIAN VIISta 810Xer #9215997 待售
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ID: 9215997
晶圆大小: 12"
Medium current ion implanter, 12"
Control:
IAN Computer (6A51) E11130730
NCS Computer (6A52) E11083873
VEST Computer (6A69) Old type
Hardware configuration:
Cryo pump:
(4) CTI-320F
CTI-250F
Compressor: (2) IS-1000
TP1: BOC EDWARDS 800 Liters
TP2: BOC EDWARDS 800 Liters
Source dry pump: ESR20N
ES Rough pump: EST100WN
Diff pump: Scroll pump
Source: IHC
Gasbox:
N2 HP 5sccm
BF3 SDS 5sccm
AsH3 SDS 5sccm
PH3 SDS 5sccm
N2 HP 5sccm
N2 HP 5sccm
Facilities:
Main PD: CVCF
Gasbox exhaust
RP2 Exhaust
Chiller NasLab
Roof fans: No
Pfg xenon gas
Di Cart: Near tool control rack
ES:
Elevator: Without brake
Profiler: Rack and pinion
Tilter
BROOKS Buffer robot
LP TAS300 Plus
Maximum energy: 900 KEV.
VARIAN VIISta 810Xer是一种先进的离子植入器和监控设备,它提供了对离子植入过程的出色控制,使用户能够轻松创建尖端技术。它设计用于半导体和MEMS制造过程，在离子植入过程中提供高精度和重复性。该系统由先进的离子源供电，具有广泛的可调参数，包括束电流、能级、光斑大小等参数。这允许用户轻松调整离子植入过程，以创建满足其确切要求的技术。此外，它还配备了一个离子探测器，其灵敏度高达10A电流，在监测过程中提供了极好的精确度。该设备具有直观的用户界面,使用户能够轻松地从单个屏幕监视和控制操作。此外，该机还包括一个实时数据采集工具，使用户能够优化植入参数，而无需手动调整参数。而且，它还具有全面的图形用户界面，允许用户在单个屏幕上可视化植入过程。该资产旨在实现最高的效率和可靠性。它具有创新的低压植入室，具有广泛的温度范围兼容性，允许用户在广泛的温度范围内进行植入而不会造成性能损失。此外,该模型还提供了全面的设备诊断套件,使用户能够快速识别和诊断任何组件故障。VARIAN VIISTA 810 XER是一个顶级的离子植入器和监控系统，提供卓越的准确性和可靠的性能。它具有先进的离子源和集成的监测装置，是半导体和MEMS制造工艺的理想选择，为离子植入工艺提供了卓越的控制。
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