二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111140 待售

VARIAN VIIISta 810XP离子植入器和监视器是一种功能强大且用途广泛的溷合模式离子植入器,可在单个设备中实现轻型和重型离子植入以及监控功能。适用于硅、绝缘体、复合半导体晶片等多种材料。利用先进的电子偏转系统，810XP可以精确地向晶片中引入杂质，从而更好地控制其电子和光学特性。该810XP由一个喷射器、数字附件和一个线性加速器组成，能够将离子束推向最重离子的160keV，较轻离子的路径更长，直至10MeV。为确保离子到达目标材料，810XP配备了两个独立的光束光学系统，可提供易于控制的高功率。VIIISta 810XP的监控单元，其四级质谱仪和电容耦合等离子体源允许在植入过程中精确监测和控制污染物离子的水平。通过提供有关当地环境的详细信息，810XP使快速校正能够准确控制掺杂过程。VARIAN VIIISta 810XP还配备了先进的安全功能，以确保其操作员和环境的安全。它包括紧急停止按钮、互锁系统以及带有自动变暗镜片的安全眼镜，以保护眼睛免受潜在的辐射危险。此外，它还有一个实时监测真空室的温度、压力和磁场的机器，以确保最佳的过程操作。VIIISta 810XP允许将各种离子植入各种材料中。它允许对材料进行受控掺杂；创造能够大大提高其性能的电子和光学效果。该810XP用途特别广泛,功能强大,可用于许多行业和应用。结合先进的安全控制，810XP非常适合精确的离子植入。