二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111183 待售

VARIAN VIISTa 810XP是一种用于制造半导体的离子植入器和监测器。它利用离子束有选择地从晶片表面除去或沉积杂质，以改变其电性能。植入器还提供计量传感器、诊断系统和惯性测量单位（IMU）。VARIAN VIISTA 810 XP设计用于处理广泛的操作，包括表面分析、植入和测量活动。810XP的源电源设备能够在不发生加热器跳闸的情况下达到30kV、5A和7200Amin,从而实现高能密度和可调节的脉冲宽度。离子源由一个线性离子源、一个离子提取栅格和一个离子光学系统组成，该系统允许离子在晶圆表面上聚焦和扫描。植入器还包括对粒子束进行实时控制的光束监测装置。VIISTa 810XP可以配备一系列程序，包括植入温度控制、点、扇区、线和多边形模式，以及预定路径，为用户提供最高的吞吐量和精度。此外，该机器还包含一个薄膜沉积室，能够在晶片上沉积薄膜。此功能允许用户为设备调整和层工程添加或清除杂质。要操作VIISTA 810 XP,用户可以更喜欢使用自己的专有软件或基于VARIAN WinNT的Windows 2000兼容软件。该软件旨在提供植入功能、剂量、能量和范围的实时图形显示,以及存储以后重复植入所需的精确数据的数据库。VARIAN VIISTa 810XP是一种高精度的植入器和监视器,适用于各种制造环境。它提供出色的光束控制和精度,以及一系列旨在实现最高吞吐量和精度的功能。离子源产生高功率光束，能够调节脉冲宽度和能量密度。此外,薄膜沉积室还可以进行精确的层工程和晶圆调谐.基于WinNT的Windows 2000兼容软件提供实时图形显示和存储植入数据的数据库。这使得VARIAN VIISTA 810 XP成为任何半导体制造设施的理想补充。