二手 VARIAN VIISTa 810XP #9111187 待售

VARIAN VIISTa 810XP是为各种半导体器件制造工艺而设计的高级离子植入器和显示器。这种先进的设备能够处理用于RIB（剃刀边缘离子植入器梁）和AVS-Ion（雾化真空喷嘴离子）应用的单管和双管配置。它能够实现高剂量率、临界精度和无与伦比的吞吐量。它还配备了一个智能光束控制系统，精确设置光束电流以精确匹配要求。VARIAN VIISTA 810 XP具有许多独特的功能,使其成为各种不同应用程序的理想解决方桉。它的离子源在超高真空（UHV）环境下运作，这使得它可以达到很高的分辨率。对于硅、硼化硅、硼、砷、磷和霓虹灯等多种不同的物种来说，它的来源会加速离子到30至140 keV的高能量和功率。它具有良好的机械设计，创造了一个低气体尘埃室，这也有助于降低功率损耗和光束散射。VIISTa 810XP还具有配置控制子系统,可用于保持高度的过程控制和光束质量。这个单元由一个真空机控制器组成，可以连接到多个主机系统，以及一个提供实时数据分析和预定义报告的集成报告生成器。此外,该工具还具有一系列警报和诊断功能,包括预测和纠正维护功能。VIISTA 810 XP也可以配置为执行修剪和深度分析过程。它配备了多区域源，可以根据用户定义的参数进行植入、范围调整和同时分析。该资产还具有高度精确的射手和能量控制模块，使植入操作变得容易。最后，它的低噪声、低能量放大器保证了光束功率的精确调节而不会产生可听见的噪声。总体而言，VARIAN VIISTa 810XP是一种非常先进的离子植入器和监控器，提供非常稳定的过程和优秀的光束质量。它非常适合广泛的半导体加工和制造应用。它易于配置,并具有监控和维护高度流程控制所需的工具。