二手 VARIAN VIISta HC #293763386 待售

VARIAN VIISta HC离子植入器&监控器是一种用于高科技半导体制造工艺的高科技离子源。植入器提供均匀且可见的离子束，将源材料如硼、磷、砷等植入靶中。先进的监视器可以通过对单个植入参数提供更好的控制来帮助控制离子植入过程。标准的HC VIISta植入器产生的光束能量范围很窄,从50eV到1MeV,准直光束点的大小从1.3到30 μ m不等。对离子束电流进行了优化，以适应准确的植入需求，得到准确的植入结果。设备的精确度及其许多参数允许对植入过程进行精细控制。VARIAN VI ISTA HC监视器通过提供一系列输入和输出参数来评估过程。它提供了对光束电流、光束能量、光束点大小和形状的实时控制。此外，它还提供测量工具，用于监测植入深度、均匀性、晶体完整性、温度均匀性等等。所有这些都提供了对过程的深入了解,并为结果提供了质量保证。VIISta HC离子植入器和监控器是一种可靠而坚固的设备，用于高科技半导体制造过程。其均匀可见的离子束允许精确的植入结果，其原位可调参数确保即使是最具挑战性的靶子也能成功植入。显示器提供详细的控制和洞察过程，确保可靠和安全的植入结果。通过将植入器和监视器结合在一起，VI STA HC可以在离子植入过程中提供最高水平的控制和准确性。