二手 VARIAN VIISta HCP+ #293650710 待售

VARIAN VIISta HCP+是一款高容量的生产离子植入器和显示器，旨在满足当今集成电路行业的需求。VIISta HCP+采用紧凑的低真空线性加速器设计,非常适合大容量设备生产。它被设计为提供一流的过程控制，与先进的监测和控制系统，使植入紧密间隔和可变深度植入。HCP+设备由灯丝、离子源和离子放大器组件、三极加速系统以及监控器组成。单个均匀能量束由离子源产生，然后由三个电极放大加速，电压可调节至范围内的任何能量。监控机使操作员能够在非常精细的程度上精确预测和控制植入物的能量，同时还提供诊断能力，确保完整的过程控制和可重复性。可变光束控制允许用户优化光束电流和光斑尺寸以满足其工艺需求。VARIAN HCP+是一个用途特别广泛的平台，可用于晶圆蚀刻、离子植入甚至纳米外科。它具有远光束电流，宽圆顶能量（产生各种深度的植入物），并且可以控制多个通电植入物的光束扫描模式。HCP+的设计目的是支持生产先进的IC，其先进的监测和控制工具使其能够准确地生产出大批量、一致的均匀植入物。此资产提供了无与伦比的灵活性,允许用户快速调整植入指令并实时监控性能。它是一系列IC生产过程的理想选择,并提供无与伦比的成本与性能比,非常适合注重成本的高批量生产环境。