二手 VARIAN VIISta MC80 #9282294 待售

VARIAN VIISta MC80是来自VARIAN Semiconductor Equipment Associates, Inc.的离子植入器和离子监测器。（VSEI）。该设备设计用于半导体和MEMS组件的植入和监测。该系统利用80kV串联加速器创建高能量的离子束。这束离子束被加速器的多个静电透镜聚焦，由多个偏转器操纵成所需的光束大小和形状。设备由允许设置和监视单个组件参数的用户界面控制。VIISta MC80配备了一系列光束电流监视器，记录矩形和圆形光束的光束电流、光束形状和大小以及光斑大小。这允许精确控制梁的参数,并提高植入元件时的精度。此外,机器还包含各种安全措施,例如光束限制器,以确保不会损坏组件。VARIAN VIISta MC80可用于植入各种材料，从硼和砷到磷和硅。而且，结合适当的计算机程序使用光束电流监视器的范围，既可以准确控制植入材料的类型，也可以精确控制所需剂量。此外，该工具可以实时监控植入物的状态，并在出现问题之前检测到任何问题。VIISta MC80能够使用自动晶圆传输机制以高吞吐量工作,这意味着它可以每小时处理多达200个晶圆。由于可以在植入物室内实现空气清洁度，它的污染水平很低，这意味着它导致正在加工的部件的产量很高。VARIAN VIISta MC80是一项可靠的资产,能够持续提供高质量的结果。它提供了广泛的选项，以适应不同的使用，使其适合植入一系列的组件和材料。该模型便于用户使用，能够长时间运行，没有任何问题或干预。它是半导体和MEMS工业中使用的植入物的创建和监控的绝佳选择。