二手 VARIAN VIISta PLAD #293804201 待售

VARIAN VIISta PLAD是一种离子植入器和显示器，设计用于半导体制造和研究的专业用途。这种高端装置提供了无与伦比的离子植入控制和精确度，同时也为植入后过程控制提供了优越的分析工具。该装置的离子植入器部分是一个压力控制的离子束源，使用等离子体二极管产生高能离子，这些离子被偏转并加速进入基板。它可以精确地将各种离子注入包括磷、硼、砷、移植物在内的底物材料中。使用提供实时状态监控的图形用户界面创建离子植入过程的系统定义。此外，多用途诊断系统允许在植入过程中对离子束进行原位分析以及植入后监测。系统的监控部分具有模式识别识别硬件和软件,用户可以快速分析过程步骤稳定性并检测任何异常和不稳定。这有助于优化和重现离子植入过程。此外，离子诱导端点测量（IIePM）等工艺监测技术能够提高离子植入产量，提高工艺稳定性。VIISta PLAD带有用户友好的图形显示,设计既可靠又耐用。它采用先进的技术和最先进的部件，保证了卓越的质量和长寿命。此外,该设备还提供各种可选软件包,允许用户添加自定义功能。为了增加安全性，该设备还具有过压关闭和防菌过滤器等各种安全功能。总之，VARIAN VIISta PLAD是一种先进、可靠的离子植入器和监控器，提供卓越的精度、控制和可靠性。该设备为用户提供了无与伦比的精确度和对整个离子注入过程的控制，同时还提供了详细的过程优化报告。