二手 VARIAN VIISta #9191531 待售

VARIAN VIISta是由VARIAN Semiconductor制造的高性能离子植入器和显示器。这种用户友好的设备旨在提供最大的吞吐量和均匀的植入物。利用先进的光束成像技术和高功率离子加速度，为广泛的电子和光电应用提供精确、可重复的植入物。该系统采用多光束视频图像监视器（BIM）,用户可以查看各种变量,如光束均匀性、剂量率、角度、计数器等。此监视器可直接查看光束线,用户可以根据需要快速进行调整以确保准确性和可重复性。还提供了一种强大的光束匹配特性，进一步优化了植入过程的均匀性和准确性。VIISta支持多种晶圆和基材尺寸，并对多种材料具有两种气体压力和可调压力。植入器利用一个专有的冷却单元来确保光束在植入过程中保持稳定。真空功能也可提供，这允许用户访问"隐藏"植入物，提高材料利用率，优化植入精度。VARIAN VIISta是为无限制的可扩展性而设计的，允许用户在广泛的范围内扩展光束能量和剂量。它还支持几种不同的植入方法，包括离子植入、离子轰击、离子溅射和源浸入。最后,VIISta具有广泛的安全功能,例如内置冗余机、自动关闭和辐射屏蔽。这些特点保证了植入器的可靠、安全运行。总之，VARIAN VIISta是一种先进的离子植入器和监控器，旨在提供精确、可重复的、具有最佳通量和均匀性的植入物。该工具具有多光束视频图像监视器（BIM）和各种材料的可调气体压力,是光电和电子生产的理想选择。此外，安全特性的多样性增加了其可靠性和可用性，使其成为现代生产环境的绝佳选择。