二手VARIOUS(离子注入机 & 监测装置)待售
离子注入是半导体工业中广泛使用的一种将杂质引入硅晶片以改变其电性能的工艺。离子植入器是使用电磁场将离子加速和引导到晶圆表面的精密机器。它们对植入的剂量、能量、角度和深度提供精确的控制，从而产生高度准确和可重复的结果。各厂商生产不同规格和特点的离子植入器。这类制造商的例子包括Applied Materials、Axcelis Technologies和Varian Semiconductor Equipment Associates。这些制造商提供了广泛的类似物和模型来满足不同的客户需求。不同离子植入器的优点因其设计和功能而异。共同的优势包括高吞吐量、优秀的光束质量、灵活的参数控制以及先进的监控设备。监测系统是离子植入物的重要组成部分，因为它们确保过程的稳定性和质量控制。这些单元包括等离子体监视器、波束电流监视器和晶圆温度监视器。Varian Semiconductor Equipment Associates开发的Lot of Implanters （LOI）就是一个监控系统的例子。LOI监视光束强度和角度,检测任何差异,并自动校正和校准光束。另一个例子是Applied Materials开发的Lot of Ion Implanters（LOI2），其重点是监测和优化植入过程，以提高植入的完整性和质量。总体而言，离子植入器及其监测机器通过提供精确的控制和确保离子植入过程的准确性和效率，在半导体制造中起着至关重要的作用。
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