二手 BALZERS / BPS Cyberite #9363567 待售

ID: 9363567
晶圆大小: 5"
优质的: 1999
Ion Beam Deposition (IBD) system, 5" (2) Chambers (6) Targets BROOKS Robot cluster handling CTI-CRYOGENIC On-Board pumps 1999 vintage.
BALZERS/BPS Cyber​​ite是一种离子铣削设备,用于将微结构制造成表面。它是一种强大的纳米加工工具,能够对金属、陶瓷和聚合物材料进行蚀刻。该系统基于一个真空室,两端各放置两个大电子枪,中间有一个等离子源。阴极喷枪产生一个离子束,它扫描整个样品表面,使能量以离子的形式从样品材料中释放出来。等离子体源进一步加速并引导离子束,允许对表面进行受控的修改。离子束还产生样品表面的物理蚀刻,这是通过向腔室中添加气体来辅助的,并通过设备的计算机界面进行控制。样品安装在安装臂上,该臂可以调整以精确定位样品相对于离子束的位置。该机能够以50 nm/min至5 μ m/min的铣削速率进行离子铣削,可用于创建最小宽度为0.5 nm的特征。BPS Cyber​​ ite与精密视觉工具集成在一起,用于对离子束正在修改的表面进行实时成像。此成像资产专为低压操作而设计,可检测到0.1 nm以下的特征大小。此特征对于特征的定量成像特别有用,可用于评估离子铣削工艺的有效性。该型号还配备了用于装卸样品的自动化样品运输设备。这一运输系统由若干传送带组成,这些传送带可将样品从实验室转移到离子束室,也可去除铣削样品。这种传输单元也被用于在研磨阶段和外部分析机器之间穿梭样品,例如扫描电子显微镜。为确保安全和清洁的工作环境,BALZERS Cyber​​ite拥有一个集成的气体减排工具。该资产包括空气净化和电离系统,以确保离子束腔及其周围环境不受任何有毒气体的影响。这使得离子铣削过程能够在安全和受控的环境中进行。总体而言,Cyber​​ite是一种具有多种功能的高级离子铣削模型。它可用于创建复杂的纳米结构,可用于制造最小特征尺寸为0.5 nm的曲面。其自动化的运输设备加上视觉系统,使其成为研究和工程应用的理想选择。
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