二手 BODONG IBE-200J #293827290 待售

BODONG IBE-200J是一种尖端的离子铣削设备，设计用于半导体制造、光学、微电子、先进材料研究等领域的精密材料去除和表面改性应用。离子铣削，又称离子束蚀刻或离子束铣削，是制造先进器件和材料的关键工艺，与传统蚀刻技术相比，具有更好的控制和精度。IBE-200J的核心是一个高能离子束源，它加速离子以精确和控制的目标材料。该系统具有用途广泛的离子源，可以产生广泛的离子种类，包括氙气、氧气、氮气和稀有气体，允许量身定制的离子束特性，以适应多样的材料加工要求。BODONG IBE-200J具有高度稳定的离子束电流和能量控制,可确保大面积的均匀材料去除和表面图样,从而实现基板的高通量加工。该单元配备了先进的离子光学器件，包括静电和磁性透镜，对离子束进行聚焦和成形，以实现高分辨率图样和亚微米特征尺寸。离子束可以通过精确的定位控制在样品表面上进行栅格处理，从而为设备制造和研究应用提供复杂的图样和选择性材料去除。此外，该机还具有对光束电流、能量和扫描速度等离子束参数的实时监测和控制功能，以优化不同材料的加工条件和期望的结果。IBE-200J提供了一系列处理模式和策略,以满足各种材料加工需求。对于材料去除和薄膜沉积应用，该工具可以在溅射模式下运行，高能离子轰击表面，通过物理气相沉积去除材料或制造薄膜。在图样模式下，离子束用于精密的材料蚀刻和光刻，使亚微米图样和基板上的特征定义成为可能。该资产的设计易于使用和灵活，具有一个方便用户的界面，用于编程处理配方、定义离子束参数和实时监控过程进度。BODONG IBE-200J还配备了安全功能和联锁装置，以确保操作过程中的操作员保护和型号完整性。此外，设备还可与额外的加工室、锁载系统和现场表征工具集成在一起，以实现先进的材料加工和分析能力。综上所述，IBE-200J离子铣削系统代表了在半导体制造、光学、微电子、先进材料研究等领域进行精密材料加工和表面改性应用的最先进的解决方桉。利用先进的离子束技术、通用的处理模式和直观的操作,该设备为要求高分辨率图样、选择性材料去除和薄膜沉积在多种基材上的苛刻应用提供了无与伦比的控制和精度。