二手 COMMONWEALTH SCIENTIFIC / VEECO 8C #78508 待售
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ID: 78508
优质的: 1994
Ion Milling systems
Rotating stage
Requires clamping fixture to hold 4" wafer
Hot tungsten wire neutralizer (front)
Operation Semi-automatic
Voltage 200V 3 Phases
Process Chamber 304 Stainless Steel
Ultimate Vacuum 1.0E-6 torr
Sample Size 2" - 4"(7 pieces)
Process Angle -90° to +90° (Motor-driven)
Fixture rotation Yes
Fixture cooling Chiller
Ion Source Kaufman
Ion Source Process Gas Argon with MFC control
Filament Cathode Tungsten Filament
Ion Gun Power Supply WELL 5100 (Japan)
Ion Gun Max Power 1000V
Ion Gun Max Current 800mA
Grid Assembly Molybdenum
High Vacuum Pump Varian VHS-10 Diffusion pump(5300 l/s)
Low Vacuum Pump Leybold D30A
Gauge Controller Granville Phillips 307
Stage capable of handling 7 wafers
The ion source controller has been upgraded to Well 5200
1994 vintage.
COMMONWEALTH SCIENTIFIC/VEECO 8C是一种最先进的离子铣削设备,旨在为在各种应用中创建纳米级结构提供可靠、经济高效的解决方桉。VEECO 8C型号配备了强大的离子源,使用户可以轻松定制离子电流强度和角度,从而创建所需的表面轮廓。在创建纳米结构时,这是必不可少的-对表面进行高精度蚀刻以制造具有令人难以置信的细节的特征。离子源能够产生高达100万伏的电流,最大电流高达400mA,撞击目标材料表面以精确蚀刻任何设计。管状离子束确保纳米结构以精确的精度进行蚀刻,产生清晰的边缘。此外,对腔室进行加压和电离,以确保成品的最低限度污染,并保持金属氧化物层完好无损。该系统易于使用,可轻松编程。可以监测过程,调节温度和气流,以确保所需的最终产品。所有组件均具有耐腐蚀性能,设计为持久耐用,并配有故障安全联锁装置,可在出现任何危险情况时自动停止该过程。该机可用于蚀刻多种材料,包括金属、陶瓷、塑料,甚至玻璃。它也适用于任何应用,无论是简单蚀刻还是复杂的3D凋刻。英联邦SCIENTIFIC 8C工具由于其成本效益、有效性和易用性,是制造车间的绝佳选择。这种强大而精密的离子铣床是在纳米级上创建精确复杂结构的必要工具。
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