二手 FEI Accura 800 / 986 #9192766 待售
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FEI Accura 800/986离子铣削系统是一种功能强大、用途广泛、用途广泛的设备,旨在利用多种材料产生亚微米特性。该系统与空气或真空兼容，具有广泛的光束能量和剂量变量。它在6个不同的取向角度具有高达6毫米2的采样能力，具有很高的精度和广泛的应用。FEI Accura有一个独特的离子铣削室，背面有气体电离源，正面有溅射枪。溅射枪设计有四个喷嘴，允许变化角度的溅射来微调过程。它连接到数字数据处理器，能够设置准确的参数并实时监控过程。离子铣削工艺能够以高分辨率加工亚微米特征。它的工作原理是使气体电离，并将气体离子送入铣削室内。这个腔室装满了要铣削的目标材料。气体离子与材料相互作用，溅去高分辨率特征。FEI Accura能够在干式和湿式处理模式下工作。在干法加工中，气体离子向目标材料加速，产生高分辨率的特征，而没有额外的液体。在湿处理模式下，气体离子与液体电解质结合，进一步支持高度精细的加工操作。FEI Accura被设计为以高精度执行快速处理。它可以用来产生精确的纳米特性，低至0.15 nm，以及低至0.25微米的图桉化特徵。它提供50到500 keV的可变光束能量,以提供更高质量的加工,而不会损坏细腻的基板。FEI Accura是广泛应用的有效工具。该系统用于微加工、精细样品制备、X射线衍射样品制备、样品表征、微蚀刻、纳米图桉、亚微米加工。它是众多寻求高精度加工、快速加工、卓越质量成果的研究实验室和企业的绝佳选择。
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