二手 FEI Expida 1265 #9194878 待售
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ID: 9194878
晶圆大小: 12"
Dual beam FIB, 12"
Electron beam image resolution: 3 nm-5 nm
Beam voltage: 1-30 kV
Ion beam resolution: 5 nm-7 nm
Beam voltage: 30 kV
Digital control: Windows environment
Stage accuracy: 1.5 µm over, 12"
Field Emission Scanning Electron Microscopes (FE-SEM) With lens detection
Load lock, 8"-12"
Multi-stub holder, 8"
GISs:
PD (Platinum deposition)
IEE (Insulator enhanced etch)
ID (Insulator deposition)
EDX Analysis: Down to 0.2 microns in size
Facility requires LN2
EDX OXFORD Instruments
No load ports
SECS / GEM Capability.
FEI Expida 1265是一种高度先进的离子铣削设备，设计用于精密样品表面制备和稳定可靠的操作。该系统提供了高度的多功能性,使用户能够轻松地从铣削加工切换到其他样品准备任务,从而提供更高效的操作。Expida 1265设有两个封闭室，用于样品制备和后处理。Prep Chamber提供了一个集成的离子束源和一个消融笼,以及一个可选的螺旋冷却板单元,以帮助在整个铣削操作过程中保持理想的样品温度。后处理室还提供一个螺旋冷却温板，并设计有一个附着的非真空源和高性能、高效的真空泵，以帮助保护样品的微妙表面。FEI Expida 1265利用高能离子束铣床，能够产生极高分辨率的铣削曲面，具有非常细腻的细节。此外，该机还提供可编程和调整的自动化表面加工控制，以提高铣削工艺的精度。Expida 1265还具有智能自适应过滤技术,可帮助防止在过程中对样品造成任何损坏。FEI Expida 1265是一种理想的离子铣削工具，用于各种样品制剂，包括蚀刻、烧蚀和切割。此外,它的智能自适应滤波技术有助于确保每次铣削操作的最高精度。Expida 1265是一种用途广泛、高效且可靠的资产,可轻松定制以满足特定表面准备任务的需求。
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