二手 FEI Expida #9284884 待售

FEI Expida
ID: 9284884
晶圆大小: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" Dual beam.
FEI Expida是一款最先进的离子铣削设备,专为曲面的超精确成形而设计。利用铣削技术实现亚纳米尺度精度的表面层水平和垂直带状。离子铣削通过在工件上驱动带电离子并将其收获以改变工件的材料来进行。Expida使用聚焦离子束(FIB)和专用级来精确定位工件,然后应用其专有的离子铣削技术。FIB是一种类似电子枪的装置,产生稳定的离子束,可以精确地指向工件表面。光束聚焦到几百纳米宽,由计算机控制的电磁体引导。这样可以根据应用程序的需要调整铣削精度。FEI Expida的舞台是一个机械平台,以三轴支撑和移动工件。X、Y和Z轴的平移范围高达35毫米,精密比例分辨率为10 nm。舞台设有减振控制和高分辨率光学器件,用于精确观察样品表面。它还具有两级过滤的高真空系统,防止外部污染物进入机组,损坏工件。Expida具有直观的用户界面,可让用户控制铣削过程的各个方面。Fein接口(FEI Skin)提供了一种为各种应用程序配置计算机参数的交互式方法。这包括选择离子铣削技术、调整铣削条件以及实时监控铣削过程。FEI Expida是研究人员和行业专业人员的理想工具,他们需要可靠、可重复且超精确的方法来制造高性能组件。这是由于其可靠的硬件、准确的控制资产和直观的用户界面。这种组合使用户可以剃掉具有最佳表面结构和完整性的出色可重复性的单个纳米。
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