二手 FEI ExSolve 2 WTP EFEM #9293813 待售

FEI ExSolve 2 WTP EFEM
ID: 9293813
晶圆大小: 12"
优质的: 2017
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2017 vintage.
FEI ExSolve 2 WTP EFEM是一种适合高端用户的离子铣削设备。它以最高精度提供连续的纳米缩放表面处理。该系统配备了先进的高真空技术,可让用户有效疏散空气分子,营造高效铣削环境。此功能还有助于防止在离子铣削过程中样品表面受到任何污染。该单元非常适合先进材料研究、半导体工艺工程、表面分析和MEMS制造等应用。该机配备了集成的自动对焦按钮,帮助用户在扫描和铣削材料时实现亚微米精度的光滑、精确的表面形态。ExSolve 2 WTP EFEM包括一个电子光柱,为用户提供最佳分辨率和焦点深度。该工具具有高速自动扫描功能,允许在低地球轨道上进行超精确成像。此外,集成到资产中的高精度溅射清洗和电阻目标系统还提供了额外的铣削能力,甚至可以应用于最复杂的设备结构。先进的溅射沉积模型还带有广泛的沉积和铣削选项,包括磁控管溅射、线性、平面和圆形溅射以及基板光束蚀刻。FEI ExSolve 2 WTP EFEM还具有高分辨率分析检测器,能够对材料结构进行高效分析和解释。这些探测器可以测量广泛的参数,包括粒径和数量、元素组成和电导率。此外,此设备还能够通过高速铣削实现高吞吐量,因此用户在应用极其精细或复杂的工艺时具有更大的灵活性。该系统具有温度校准和控制功能,允许进行与温度相关的铣削。最后,该单元提供了针对特定应用程序的多种预编程配方,使流程自动化更加轻松,周转时间也更快。
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