二手 FEI Helios 1200AT AFL #293600559 待售

ID: 293600559
晶圆大小: 12"
优质的: 2013
Focused Ion Beam (FIB) system, 12" 2013 vintage.
FEI Helios 1200AT AFL是一种先进的离子铣削系统,用于去除各种表面的薄膜。此工具是FEI Helios系列的一部分,提供了精确和速度的独特组合。Helios 1200AT AFL具有许多重要的好处,包括能够在低离子能量的情况下实现非常高的薄膜去除率。它还提供了对厚度在0.1nm至2,000nm之间的薄膜进行高度精确的铣削,并提高了工艺的可控性,直至达到埃水平。此外,该工具还提高了生产效率并优化了大型流程窗口。FEI Helios 1200AT AFL是基于单个高分辨率电子柱。此列能够检测和聚焦功能强大的低能离子,使其非常适合用于超薄膜和高分辨率铣削应用。此刀具中使用的离子源是可调孔径类型,它能够调整孔径大小和精度以实现最佳控制铣削。反过来,这也允许对胶片进行刻画和操作,直至达到埃的水平。为了提高材料选择性,Helios 1200AT AFL包括可变范围的光束能量,范围从10 keV到500 keV,使其成为实现最高质量铣削的强大工具。FEI Helios 1200AT AFL针对各种基材的材料性能进行了优化,同时也提供了最大的可用性。该系统配有自动对准系统,一旦校准,无需经常进行手动光学调整。最后,Helios 1200AT AFL配备了易于使用的用户界面和移动软件。这为优化和控制流程提供了强大的控制机制,以及用于数据收集、分析和管理的安全协议。
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