二手 FEI Helios NanoLab 1200HP #9250534 待售
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已售出
ID: 9250534
晶圆大小: 12"
Focused Ion Beam (FIB) system, 12"
Electron column:
Elster column, field emission gun
Beam voltage:
SEM: 350 V - 30 kV
Ion column:
Tomahawk, Ga liquid metal
1,500 Hours
FIB: 500 V - 30 kV
FIB Current: 1 pA - 65 Na
Image resolution:
SEM:
Visual resolution < 1.4 nm at 1 kV / 11 pA Mode ll WD 1.0 mm
Visual resolution < 1.0 nm at 15 kV / 11 pA Mode ll WD 4-5 mm
FIB:
Visual resolution < 4.0 nm at 30kV / 1.1 pA
5-Axes motorized stage (Tilt eucentric)
Load 8" / 12" wafer
Detectors:
TLD Detector
ICE Detector
STEM I Detector
OmniProbe 200 Plucker
Gas injection system:
Platinum deposition
IDEP lll Deposition.
FEI Helios NanoLab 1200HP是一种创新的离子铣削设备,为纳米级精密铣削提供了一系列先进的功能。该系统采用了双束设计,同时采用了离子源和电子源。这提供了独特的切割和结构化体验,使用户能够在短短几分钟内创建小至30 nm的特征和曲面。这使得FEI Helios非常适合生产3D MEMS/NEMS元件和设备。该单元包括一个自动化的样机、可调铣削参数以及专门为优化操作而设计的用户界面。直观的用户界面使用户可以快速设置铣削参数、观察进度和即时调整参数。此刀具允许对铣削条件进行动态控制,从而为正在加工的每个零件提供完美的参数。此外,该资产包括多个源和枪的配置,以及一个高精度,闭环运动模型,以最大化吞吐量。先进的真空环境允许在密封环境中进行有效的机器操作,从而最大程度地减少污染。该腔室充满了稀有气体-典型的氙-提供损害保护和提高铣削速率.设备还包括用于改进温度控制的集成冷却系统。最后,提供了多种气体进料,使设备能够更好地优化铣削工艺。Helios NanoLab提供了一系列功能,旨在提高其精度和生产率。其三轴闭环运动机确保了零件的精确定位,其先进的运动控制器使高频移动成为可能。智能自动调谐功能使用户能够轻松找到每个加工部件的最佳铣削参数,最后,该工具提供了增强的安全功能,如防震硬轴和噪声抑制系统,以最大程度地降低损坏或身体伤害的风险。Helios NanoLab是生产微米和亚微米结构的理想选择。其先进的设计可实现快速的铣削时间和卓越的精度。用户友好的界面和一系列高级功能使其非常适合电子、医疗、航空航天和半导体等多种行业的应用。无论是加工薄膜元件、MEMS设备还是超高精度元件,Helios NanoLab 1200HP都提供可靠、精确的加工。
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