二手 FEI Helios NanoLab 450S #293768115 待售

FEI Helios NanoLab 450S是下一代离子铣削设备,专为在具有挑战性的基板上制造超小型特性而设计。该系统的核心是Helios高分辨率离子柱,铣削分辨率为10nm,能够使用高电流离子将精度降低到10nm。它非常适合在复杂材料上制造特征，如高长宽比结构、接触孔、沟槽、线条和空腔。该装置有一个自动化的负载锁和真空泵机，使它能够维持长期运行时间和避免污染。四个主轴中的每一个都配有自适应光学器件，允许用户调整铣削光束，以产生功耗最小的高度精确铣削特征。此外，内部气体密封工具提供了最大的安全性和保护基板在铣削过程中。有效光束能量范围为50eV 30keV,能量稳定性在1%以内.集成的电动x-y级使样品在基板上精确对准，样品面积为150 x 150 mm。最后，该资产具有交互式图形用户界面，允许从外部计算机完全控制模型。总之，Helios NanoLab 450S是一种强大可靠的离子铣削设备，能够在具有挑战性的基板上产生精确的特征。它的先进功能包括高分辨率离子柱、自动负载锁定和真空泵送系统、自适应光学器件、集成气体密封装置、50eV 30keV的有效光束能量范围以及交互式图形用户界面。这台机器非常适合为各种应用寻找可靠和精确离子铣削的实验室和行业,包括接触孔、沟槽、管线和空腔。