二手 FEI / MICRION 2500 #9204443 待售

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ID: 9204443
Focused Ion Beam (FIB) system Ion beam data: Ga, 50 kV, 5 nm, 20 nA Specimen stage: 75 mm x 75 mm, 5 axis Detector: MCP Data recording: Digital output Video printer Gas: Tungsten deposition Tmcts insulator deposition XeF2 Insulator etch Chlorine metal etch Vacuum system: Turbo with mechanical RP Other component: CAD NAV.
FEI/MICRION 2500是一种先进的离子铣削设备,专为精确、通用的铣削应用而设计。非常适合用于纳米技术、材料科学和半导体加工。FEI 2500利用了一个高功率的离子源,产生一个离子束到标本级。这样就产生了小到0.2纳米的材料的超细离子束铣削。此外,它还可用于创建非常平坦的表面,用于显微镜成像和阵列。该系统是一个自动化的XYZ阶段,具有对单个样本进行多次操作的能力。它还可以进行串联铣削,允许在不同类型的材料上进行多次离子束蚀刻。该装置采用高精度光学和压电传输技术,对光束聚焦和样品运动进行精确控制。其先进的软件还可以实现离子束参数的自动优化和对光束向样品倾斜的精细控制。该机具有先进的真空环境,可确保可重复、清洁的铣削结果。其智能真空控制使加工过程保持清洁,减少了材料在样品上的重新沉积。刀具的底压达到1 × 10-8Torr范围低。资产提供了很高的控制水平,允许用户精细调整光束能量、光束电流、扫描速度、光束角度和扫描间距。这提供了一个精确的工具,具有卓越的可重复性性能,允许在材料损坏最小的情况下进行复杂而细腻的材料处理。MICRION 2500是一种功能强大且用途广泛的离子铣削模型,能够以极高的精度和精确度处理精细且难以加工的材料。其可调扫描参数,加上强大的离子源和自动真空控制,使其成为纳米级材料加工的可靠工具。
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