二手 FEI / MICRION 2500 #9294116 待售
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FEI/MICRION 2500是一种离子铣削设备,其工作原理是将材料与一束氙气或其他惰性离子溅射离开,从而在样品表面上创建特征。该系统采用双柱设计，在现有腔室配置和其他备选方桉方面具有多功能性，例如样品加热、气体入口/出口、额外的样品级和其他最大范围应用的控制。该工具还具有可定制几何形状的蚀刻室,包括大样本的大均匀区域,或高长宽比和线性轮廓的小区域。FEI 2500具有集成强大的双端口射频（RF）离子源以及高功率直接或直流偏移RF离子源,均采用主动屏蔽技术。这个单元消除了二次电子发射，对束电流提供了更精确的控制。该机还提供了可变电流控制、光束转向、聚焦调节和光束半径控制的一系列选项。MICRION 2500的高真空双室设计采用了具有监控功能的锁载工具，具有可靠的长期运行和高端资产稳定性。该工具还具有一系列磁性安全壳系统，以减少电荷累积和减少样品污染。2500配备精密控制选项，包括主动横梁转向、对准和对焦，以获得最佳性能和提高溅射速率能力。FEI/MICRION 2500包括操作微波源的综合过程自动化模型以及可编程蚀刻配方的创建。这与图形用户界面和集成网络相结合,允许对任何级别的用户进行用户友好操作。FEI 2500生产的特性尺寸小至5 nm，使其成为具有广泛应用的强大工具，如薄膜沉积、"干燥"低介电材料，以及在半导体材料中创造高长宽比特征。所有这些好处结合在一起，使MICRION 2500成为任何需要精确工作的实验室的重要组成部分。
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