二手 FEI / MICRION 9500 EX #293641374 待售

ID: 293641374
Focused Ion Beam (FIB) system Stage type: 200 mm x 200 mm Loadlock type IBM RISC System, 6000 43P 140 Computer/AIX 4.1.5 MCP Detector I-Gun column type: 5 nm Beam current: 3 pA - 931 pA (50 kV) Depo system: Tungsten TMCTS Gases: O2, H2O, Cl2/Br2, XeF2 Vacuum pump: Turbo molecular pump (2) Mechanical pumps (2) Ion getter pumps.
FEI/MICRION 9500 EX是为样品制备而设计的先进离子铣削设备。它专门为各种基材提供高精度的表面平面化。适用于溅射、溅射蚀刻、扩展离子铣削和其他材料去除技术等工艺应用。FEI 9500 EX利用数位电脑控制的六轴直线电动机驱动系统,允许电动级和可变交流/直流离子源。双源交流/直流单元用于创建针对离子铣削应用进行优化的可靠离子束。该机还具有节能操作和先进的离子源设计,可提供自适应光束通量和标称离子源灯丝操作。MICRION 9500 EX包括一个24位取样盒、一个数字角测角仪、高速快门和一个样品旋转级。9500 EX配备高分辨率光学显示工具,提供离子铣削工艺的实时视图。该资产能够监测基板表面的均匀平面化、晶粒排列和颗粒堆积。FEI/MICRION 9500 EX还具有高分辨率剂量控制模型和针对特定过程的各种可定制扫描参数。软件和硬件组件为控制离子铣削过程和优化各种材料去除技术的性能提供了一种全面的方法。FEI 9500 EX旨在提供快速、高精度的样本平面化,并包含一系列自动化和动手操作功能。它还与集成冷却系统、远程监控能力、工作流程单元和用户友好界面等多种设备配件兼容。此外,MICRION 9500 EX还提供了SIMS分析、元素组成分析和X射线衍射分析等一系列先进的分析能力。9500 EX是市场上最先进的离子铣削系统之一。它是在各种基材材料上创建高度详细的表面的可靠且通用的工具,并提供了优化表面制备过程的一系列综合功能。
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