二手 FEI / MICRION 9500 EX #9150796 待售
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ID: 9150796
Focused Ion Beam (FIB) system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum types:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type: 200 x 200 mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 140 computer / AIX 4.1.5
Detector: MCP.
FEI/MICRION 9500 EX离子铣削设备是为制造纳米级结构和部件而设计的先进离子铣削设备。它能够利用低能量、高离子加速度的远束电流产生复杂的表面结构。它使用了移离子束来精细研磨各种材料的表面,包括金属、陶瓷和半导体。该设备还能够产生具有紧密公差的3D纳米结构。FEI 9500 EX离子铣削系统采用聚焦扫描离子束,可产生特征小、精度高的表面。该设备具有高度用户友好的界面,允许用户根据需要轻松调整参数。它还配备了XPS分析机来监视铣削进度,使用户能够验证曲面并快速调整铣削步骤以获得所需的结果。在离子铣削工艺方面,MICRION 9500 EX提供了广泛的离子,包括的范围很广,其上包括的离子变更(Ga+)、霓气(Ne+)、氙气(Xe+)、氦气(He+)、铝(Al+)、硼(B+)和钛(Ti+)。离子铣削过程精确,允许对样品表面上的离子束进行精确的横向控制。此外,此工具还提供多种操作参数,如加速电压、光束电流、分辨率、光束点轮廓、光束超过扫描范围、扫描速度、停留时间和样品温度。9500 EX配备了强大的计算机资产和各种软件工具,允许用户对自定义的流程进行编程。此模型具有一个内置永久内存,用于存储用于每个作业的所有参数和设置,从而可以重新创建任何铣削过程。此外,直观的图形用户界面可帮助用户跟踪铣削进度,并提供分析和报告工具来监视和分析铣削结果。总体而言,FEI/MICRION 9500 EX提供了强大而精确的离子铣削设备,具有出色的自动化水平和用户友好的界面。它是纳米结构和组件铣削的理想选择,因为它提供了精确且可重复的铣削过程。由于其出色的铣削参数、广泛的离子类型和自动界面,对于那些寻求高级离子铣削能力的人来说,该系统是一个极好的决策。
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