二手 FEI / MICRION Vectra 986FC #293718112 待售
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ID: 293718112
晶圆大小: 8"
Focused Ion Beam (FIB) system, 8"
Upgraded to IET / WDR System
Circuit editor: 28 nm
Ion mill column
Acceleration: 50 keV
Ion column resolution: 5 nm
Bipolar power supply
Laser interferometer stage, 8"
Proprietary charge neutralization system
Virtual apertures: (14) Beam currents
Pre-soak chamber
Wafer holder, 8"
Current monitor sample holder
Tungsten metal deposition
Hard Disk Drive (HDD), 500 G
RAM Memory, 3400 Megabyte
Gases :
Chlorine / Bromine
Xenon difluoride
Siloxane (TMCTS)
Oxygen
Tungsten
Display:
Colour monitor, 21"
Line resolution (1280 x 1024)
Virtual apertures: (14) Beam currents
Gas delivery system:
Metal (Cl2)
Dielectric (XeF2)
(2) GAE Stations
Penta / Tri nozzle configuration
Dielectric deposition:
Tetra Methyl Cyclote Trasil Oxane (TMCTS)
Oxygen
No IR cameras.
FEI/MICRION Vectra 986FC是为先进半导体制造和材料研究应用而设计的高性能聚焦离子束(FIB)铣削设备。这种尖端仪器将离子束铣削功能与高度精确的成像和分析功能结合在一起,以实现纳米级结构的精确制造和表征。FEI Vectra 986FC的核心是它的聚焦离子束柱,它产生了一个精细聚焦的氙离子束,用于铣削和成像。该系统能够产生具有亚纳米分辨率的离子束,非常适合需要极高精度的任务,如电路编辑、故障分析、样品截面等。MICRION Vectra 986FC具有多用途级单元,可进行多轴样品处理和定位,使用户能够精确定位样品表面上的特定目标区域进行处理。该级机还支持对铣削过程进行现场监控,确保实时反馈和调整以获得最佳效果。除了离子铣削功能外,Vectra 986FC还配备了高级成像和分析功能,可增强其在各种应用中的实用性。该工具具有高分辨率扫描电子显微镜(SEM)和二次离子质谱(SIMS)成像模式,提供样品表面的详细可视化和纳米级的成分分析。此外,FEI/MICRION Vectra 986FC提供自动成像和数据采集功能,简化工作流程并提高用户的生产效率。该资产的直观用户界面和软件控制允许对复杂的铣削和成像任务进行轻松编程,使经验丰富的研究人员和新来者都可以访问该资产。FEI Vectra 986FC的主要优势之一是它在处理各种样本类型和大小方面的多功能性。无论是使用半导体晶片、生物样品,还是材料科学样品,模型都配备了适应各种样品几何形状和表面条件,确保了不同应用的一致和可靠的结果。此外,MICRION Vectra 986FC设计用于高通量处理,使样品制备和分析的周转时间更快。其先进的腔室设计最大限度地减少了污染和样品漂移,确保即使在长时间的操作期间也能得到一致和可重现的结果。总体而言,Vectra 986FC代表了最先进的离子铣削设备,它结合了尖端技术和用户友好的设计,在纳米级结构的制造和表征方面提供了无与伦比的性能和可靠性。FEI/MICRION Vectra 986FC具有先进的功能和多用途的功能,是研究人员和制造商寻求突破纳米技术和材料科学界限的宝贵工具。
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