二手 FEI / MICRION Vectra Vision #9200449 待售
网址复制成功!
ID: 9200449
Particle beam system
I-Gun type: 5nm Column
Beam current: 3pA~931pA (50kV)
Depo system:
Tungsten
Tmcts
O2
H2O
Cl2 / Br2
XeF2
Vacuum type:
Turbomolecular pump
(2) Mechanical pumps
(2) Ion getter pumps
Stage type:
OBIC Laser: 200mm x 200mm
Loadlock type: Loadlock system
PS / OS: IBM RISC System / 6000 43P Model 150 computer / AIX 4.3
Detector: MCP.
FEI/MICRION Vectra Vision是一种离子铣削设备,设计用于大面积纳米磨料加工工艺的各种材料。它结合了高精度铣削、高级自动化和智能过程控制器,以最大限度地提高吞吐量和性能。FEI Vectra Vision提供了许多旨在提高生产力和准确性的功能。MICRION Vectra Vision的主要部件是一套磁悬浮、可编程的铣头,一个编子式的掩模装载机,一个运动控制的旋转压板,以及一个集成的等离子体源。高精度铣头能够处理多种材料,包括金属、聚合物、无定形材料和半导体。集成的等离子体源允许离子铣削,而无需液前预处理。运动控制旋转盘提供+/-2.2 µm的表面配准精度和高达16,500 rpm的转速。最后设计了一种用于快速、准确地将口罩和基板送入和送出磨房的铲子式口罩装载机。Vectra Vision还配备了强大的自动化、控制和软件功能。该系统的TrueView软件套件旨在监控整个过程,从基板加载和定位到区域选择和铣削,并经过优化以最大限度地提高生产效率和准确性。此外,FEI/MICRION Vectra Vision的模块化体系结构和集成的定制控制器可确保在多个铣削周期中获得可靠、可重复的结果。该单元的模块化还允许从基本功能扩展到高级功能。最后,FEI Vectra Vision配备了用户保护的最新安全功能。先进的激光和准直器传感技术提供实时反馈,确保没有人员暴露在危险的工作条件下。此外,该机器符合所有适用的安全法规,包括OSHA和ANSI标准。最后,MICRION Vectra Vision是一种先进的离子铣削工具,设计用于大面积的纳米磨料加工过程。它结合了高精度铣削、高级自动化和智能过程控制器,以最大限度地提高吞吐量和性能。此外,该资产还配备了强大的安全功能以保护用户。
还没有评论