二手 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #293750061 待售

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一种先进的蚀刻器/asher设备。1020是为促进等离子体蚀刻以及其他蚀刻和灰化工艺而开发的,它提供了一套使该工艺快速、高效和可靠的功能。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一种集成设备，将蚀刻/灰化室、等离子体源和射频发电机结合成一个统一的设计。这允许全自动蚀刻/灰化过程,并具有精确的控制和监控功能。该系统能够快速实现过程重复性，并为研究和生产应用提供足够的统一性。1020的蚀刻/灰化室设计有一个双窗口，以适应正负灰化操作。第一个窗口可用于正蚀刻/灰化过程，而第二个窗口允许进行负蚀刻过程。该过程可以通过窗口视口进行监控,在实验期间对产品进行目视检查。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020包括一个陶瓷节气门，用于精确的气体输送控制，提供可调节的压力范围。该机组以1.0至20 sccm之间的可调气体流量运行，并采用数字气体流量计进行连续流量调整。1020提供了广泛的等离子体源选项,包括射频、直流、脉冲直流（HFXE）和脉冲磁控管源（HFE）。射频发电机能够提供输出功率的20kW，允许全功率和过程控制。此外，FISCHIONE INSTRUMENTS 1020还包括诊断和设备保护功能，以确保机器在实验期间保持安全和运行。1020适用于多种蚀刻和灰化工艺，可集成到更大的生产工具设计中。它提供可靠的生产力、统一性和一致性，使其适合广泛的工业和研究项目。该设备为等离子体蚀刻和灰化过程提供了完整的解决方桉，并确保了可靠和精确的结果。