二手 FISCHIONE INSTRUMENTS 1020 #9253905 待售

FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是一种自动化的干式蚀刻器/asher，设计用于低温和可变功率等离子体处理、物理和化学气相沉积，也可用于清洁应用。它配备了功能强大、高分辨率、数字处理控制器和10英寸直观的用户界面，为用户提供最大性能兼容性和灵活性。具有运行高压、高温、高清洁率工艺的能力，适用于多种工业和研究应用。1020具有一个2.25英寸宽的腔室和一个2.5英寸背面视图蚀刻窗口,腔室容量可达24个单独的1英寸晶圆。腔室和蚀刻窗采用不锈钢制成，可调节真空系统由一个粗加工站组成。这样可以对蚀刻过程进行紧密控制,提供精确的蚀刻控制和出色的蚀刻结果。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020的来源部分可堆迭各种选项，以补充蚀刻室和蚀刻窗口，并保持过程进行。1020由可靠的PLC（可编程逻辑控制器）驱动,该PLC具有数字通信协议端口和数字控制信号,可详细控制蚀刻过程。此外,用户界面还具有多个进程控制功能,使用户能够预先确定每个蚀刻运行的所需参数。PLC提供逻辑和监控，以确保蚀刻室中的所有设备和工艺运行正常。The1020还配备了另外两个安全组件,可确保操作过程中发生任何事故的风险降至最低。第一个是安全互锁，旨在防止任何未经授权进入蚀刻室和蚀刻窗口。第二个是E-STOP安全开关，设计用于在发生紧急或意外事件时关闭机器。FISCHIONE INSTRUMENTS 1020是研究和制造工艺的理想蚀刻器/粉碎器。它以可靠的PLC和数字通信协议有效驱动，而其背面视图蚀刻窗口和腔室容量使精密蚀刻，让用户获得优越的蚀刻效果。1020具有强大的数字处理器、大腔室容量和可调真空系统,专为工业和研究级应用而设计。