二手 FLUID ENERGY Aljet #9214729 待售

FLUID ENERGY Aljet是一种先进的离子铣削设备,旨在在一系列材料中创建高长宽比特征。该系统用于半导体、MEMS、光电和硬材料加工等应用。Aljet单元的设计允许高精度和精密加工,而无需进行湿加工操作。FLUID ENERGY Aljet机的关键部件包括气体分发器、样品定位器、喷嘴组件、源和控制器。Aljet tool operating by using a mixed of high energy inert or resistive gases directed through a array of nozzes.然后这些气体被引导到基板上，基板由样品定位器保持。此样品定位器使基板在加工过程中保持在适当位置,同时允许用户精确调整基板的位置。气体分销商负责提供和控制气体的溷合物。喷嘴组件产生一束高度聚焦的气体离子束，这些气体离子束指向基板。该源提供了加工所需的能量，由灯丝、气室和电子设备组成。灯丝产生具有可调电流的电子束，通过一个气室，形成一个电离的等离子体。这种由电子和正离子组成的等离子体随后被送入一个抽取器，该抽取器产生高能的正离子束，被引导到目标上。控制器负责控制资产的整体运行，允许用户调整压力、腔室电流、离子电流、灯丝加热器、喷嘴设置等参数。FLUID ENERGY Aljet模型效率高,既节省了成本,又提高了生产率。使用这种设备所获得的精确度允许产生非常高的纵横比特征，而不会产生湿工艺的缺点。Aljet离子铣削系统能够产生直径小、长宽比高的特性,非常适合制造半导体和MEMS应用的元件。这个单元对于任何希望用铝、铜、硅、蓝宝石和黄铜等材料制造元件的实验室来说都是一个有价值的工具。