二手 GATAN 600 TMP #9284031 待售

GATAN 600 TMP是一种离子铣削设备，用于半导体材料和其他细腻基板的微加工。它旨在为手动、半自动和全自动流程提供高精度和准确性。该系统由几个组件组成，包括一个可旋转的源框架、一个斜角离子铣床、一个或两个主要样品级、一个收集锥、一个后离子滤波器和一个用于精确控制光束的四轴控制器。该装置具有一个可旋转的源框架和两个差分泵浦离子源。这些组分负责在高能源下产生聚焦的离子流，以蚀刻细腻的材料，如硅和砷化氙。可以调整这两个源的组合，在整个样品阶段的整个区域提供均匀的离子轰击。斜角离子铣床附着在源帧上，设计目的是为用户在选择铣削角度和深度方面提供更大的灵活性。主要试样级最多可与两个晶圆持有者一起使用。晶片支架由特殊的真空夹紧机固定在适当的位置，有效地防止样品因振动或运动而损坏。收集锥体的设计目的是确保来自样品级的离子不会影响工具的其余部分。它直接放置在离子源的中心，特别设计用来降低离子束的发散角。后离子滤波器是600 TMP资产的重要组成部分。它负责清除可能污染样品的任何不良颗粒或分子，如灰尘、污垢或含碳分子。过滤器可以设置为一个特定的压力和流量，这有助于防止任何粒子的遏制。最后，使用四轴控制器为用户提供对光束的完全控制，包括光束的大小、形状和角度。这种控制水平允许在蚀刻材料时提高精度。总体而言，GATAN 600 TMP是一个高度先进的模型，设计用于精细的基板的精确和精确的微加工。它由几个组件组成,这些组件协同工作,使用户能够创建最精确的产品,同时在整个过程中保持清洁和安全的环境。