二手 GATAN 645 #70882 待售

GATAN 645是一款具有高分辨率抛光能力的离子铣削设备。该系统由四个单独的模块组成。645的组件包括一个锁载室、一个垫圈真空室、一个离子束柱、一个真中心级、一个真空单元和一个离子束控制（IBC）机。锁载室由一个铝制框架组成，该框架包含一个可移动的前面板，两侧各有一个导轨门。它旨在减少压力变化，还配备了非磁性旋转和滑动门封，以防止污染物进入真空室。GATAN 645工具还包括一个带垫圈的真空室，配有中央端口。中央口允许进入标本室，标本室在1毫巴的低压下充斥着氙气。真心级安装在垫圈真空室上，用于旋转和倾斜样品。离子束柱设计为通过控制电流和能量等参数产生均匀的离子束。该柱装有高精度的X-Y级，用于控制光束方向和焦点。成像资产也位于真空室内。IBC模型用于控制离子束。这个设备包括一个射频发生器和一个密集等离子体聚焦（DPF）光学电池来控制光束强度、光斑大小和光束电流。真空系统部件位于疫苗室的中央端口和后壁。645单元特别适合变薄，这涉及使用离子束蚀刻掉薄薄的材料层，如氧化硅或其他电介质，以创建微观结构。它也被用作抛光工具，在金属、玻璃和其他材料上产生光滑的表面。离子铣削工艺产生具有较高表面能量的均匀表面，使薄膜具有更好的附着力。GATAN 645机具有广泛的操作参数，包括光束电流、光束能量、光斑大小和入射角。因此,此工具提供了灵活的可调参数范围,使诸如稀释、蚀刻和抛光等应用能够非常精确地执行。