二手 GATAN 682 #293648546 待售
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ID: 293648546
Precision Ion Polishing System (PIPS)
MAXTEK TM-350/400
(3) Individual ion sources (ion energy 1-10KeV)
Etching area: 7-10 mm
Silicon etching rate 10 μm / hr
Tungsten 3 μm / hr for at 10.0 keV
Carbon coating rate 0.5Å / sec
Chromium 1.5 Å / sec at 10.0 keV
Uniform over 1" Diameter
(2) Dual target sets, selectable under vacuum
Target materials: Au, Au / Pt, Ag, C, SiO2, Cr, Ti, Al
Spare parts included:
Qty / Part number / Description
(1) / 682.82001 / Service manual
(1) / 682 / Service kit
(1) / 682 / Accessories kit
(1) / 691 / Accessories kit
(1) / 691 / Liquid nitrogen trap
(1) / 09811 / Chemical vials
(2) / 682.15200 / Pump spanner wrench
(2) / 09680 / Krytox grease
(2) / 682.11028 / Charge, carbon replacement
(1) / 682.19074 / reducer
(1) / 682.19075 / reducer
(2) / 681.19076 / Tri-Pod mount adapters
(2) / 682.19007 / Centering rings
(1) / 682.14080 / Complete O-Ring kit
(1) / 681-19083 / Adapter tube
(1) / 05530 / Cable coax.
GATAN 682是为透射电子显微镜（TEM）材料的高性能物理制备而设计的离子铣削设备。利用高功率惯性聚焦离子源，在MEMS可编程级上，产生一束用于从样品中溅出几纳米表面材料的氙离子束。682系统具有可变角度的真空室,能够容纳各种样本量和形状,以及用于调节离子束方向的专用倾斜仪。真空室与GATAN气体控制单元（GCS）相连，GATAN气体控制单元提供室内气体和颗粒的流量控制。机器还包括一个电动样例阶段、高级自动化控制软件和用户友好的GUI（图形用户界面）。GATAN 682产生了空间均匀、高质量的铣削结果，这主要是由于它改进了气体和离子束控制的设计。气体流速由专门设计的喷嘴维持，真空室中的电势分布利用专利电极，使离子束以预定角度精确聚焦，在大表面上给出均匀的蚀刻深度。这种先进的控制工具和软件允许对样品进行高效、精确的铣削而无需手动调整。682还配备了柔性花纹生成器模块，以允许更精确、均匀的蚀刻花纹。阵列生成器模块根据样品的形状、遮罩几何形状和可选的处理参数（如蚀刻、离子频率和光束宽度）生成阵列。此模块有助于确保均匀、准确的蚀刻深度,即使对于形状复杂的样品也是如此。此外，GATAN 682提供了辐射公差模式等高级功能，允许用户在TEM操作过程中样品暴露于入射辐射时调整铣削设置。它还包括一个服务计数器，为用户提供关于总铣削时间、激活离子数量和平均蚀刻速率的信息。总的来说,682是一个非常先进的离子铣削资产,具有极好的精度和可靠性.其尖端的技术、创新的设计和广泛的特点使其成为TEM研究材料物理制备的理想选择。
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