二手 GATAN 691 #293752323 待售

GATAN 691是一种高科技的离子铣削设备,其设计目的是通过称为离子铣削的过程,促进各种材料的精密表面修改。该系统利用的"干式"精密蚀刻技术,实现了对材料表面和三维（3D）特征的卓越控制。691单元设计允许高速铣削半导体或绝缘材料，包括硅、铝、碳、二氧化硅、氮化硅和钨等。这台机器有一个超低能量离子源，能够输送能量从0.5 keV到10 keV的聚焦离子束。此外,GATAN 691具有20 W的强大离子源,能够提供非常高质量的铣削结果,而且附带损害最小,使其成为特别重视高保真度的材料的理想选择。此外,其强大的控制工具允许在处理时精确更改角度和距离,从而有助于创建自定义特征和高精度蚀刻。691具有包括其高分辨率级机芯在内的几个优势特征，使其适合于特征尺寸小至100 nm的表面图样；其光学系统用于查看和实时表面评估；和其集成的负载锁，保持真空，以避免后处理氧化。它还包括保持人员和设备安全的隔离安全系统，以及用于成像的超低压电阻加热资产和闭合变焦镜头配置。GATAN 691的用户友好界面具有直观的图形用户界面（GUI）,用于流程配方设置、控制和监控,具有IQ/OQ验证的灵活模型自动化模块,以及用于提高操作效率的远程访问选项。它还包括一个全面的实时诊断模块,使用户能够及时排除和解决设备问题。除了这些特性外，691还包括台式离子束分析系统，支持一系列能量过滤成像和光谱技术。该机组还配有强大的涡轮泵支撑和五站托盘换热器，用于提高吞吐量和处理彷真。最后，GATAN 691可以适应一系列应用，从光刻到样品和样品制备。总体而言,691是一台先进的离子铣床,旨在以前所未有的速度和控制实现生产规模和表面修改过程。GATAN 691结合低能离子技术和受控级运动，为制造高精度特征和表面提供了可靠高效的工具。