二手 GATAN 691 #293757339 待售

GATAN 691是一种离子铣削设备，用于以局部方式从表面去除材料，而不会对下层表面造成任何实质性的地形修改或损坏。该系统由一个高压源、一个真空室、一个离子铣削工具以及其他各种旨在降低基板损坏风险的组件组成。离子铣削是一种磨料过程，其中离子被加速以撞击材料表面，从而导致材料位移和/或层烧蚀。691单元有一个相对较小的真空室，直径约16英寸。它围绕不锈钢波纹管建造，操作压力高达10-6托。该机配有1至25kV范围内的高压电源，离子铣削电极的电流供应高达20mA。离子铣削枪具有可调参数来控制离子的角偏差、能量和电荷。该工具还配备了一个快门，用于控制材料表面对离子的暴露。离子的角偏差可在0-9.9 mRad的范围内调节。这允许梁撞击在材料表面上的精确位置。离子的可调能量和电荷可用于选择材料去除发生的深度。这对于避免底层的任何重要地形变化是有用的。GATAN 691资产可用于加工多种材料。适合离子铣削的材料包括铝、铜、钛、硅、哥、镍铝合金。该模型还配备了一个容器，用于收集离子铣削过程中产生的烧蚀材料和碎片。691设备常用于制造半导体底物、薄膜沉积系统、碳膜和砷化的组分。它有几个优点，包括精确的材料去除，最小的基板损坏，并提高吞吐量。离子铣削系统，例如GATAN 691，让研究人员能够准确控制材料移除的深度和位置，并在多种材料中製造错综复杂的图桉和特徵。该系统可靠，可用于制造符合精确规格的部件。综上所述，691是一种高度可靠的离子铣削单元，具有可调参数，可以为各种应用精确去除材料。