二手 GATAN 691 #293826925 待售

GATAN 691是一种离子铣削设备，用于通过去除薄层材料来制备电子显微镜样品表面。该系统采用闭环、三级电气/机械离子聚焦装置，将一束离子束输送到样品表面，并在双管"毛刺消除器"中收集溅射材料。这样就能够准确控制离子束能量参数（控制铣削深度的参数）,以及影响溅射速率的光束角扩展。样品平台由一个直径300毫米的真空密封平台组成，该平台使用共享馈线为离子铣削源和样品供电并发出信号。加速离子的电源可在很宽的动态范围内调节，并且在操作过程中样品保持在固定的偏置电压。此外，样品平台允许使用安装在平台表面的空气驱动执行器在x、y、z轴上进行样品倾斜。光束的来源是具有图形阴极和改进型抽取器的大功率离子枪，可实现高性能溅射。该枪与形成法拉第屏蔽的一系列金属板相连，防止电子污染光束，同时加速离子束。此外，稀土磁体能够在样品表面附近提供高达2特斯拉的消磁场。机器还包括一个光学视频查看工具，提供样品表面的全场图像，并使操作员能够实时观察铣削进度。最后，为了精确控制铣削过程，资产包括一套软件，设计用于通过电源控制离子束参数，允许控制束电流、束能量、点大小和其他参数。这种对加工过程的精密控制允许对样品进行精确铣削,并确保精度和可重现的结果。