二手 GATAN 691 #293827744 待售

GATAN 691是设计用于纳米结构生产的精密离子铣削设备。它是GATAN, Inc.的最新产品,GATAN, Inc.是重点离子束（FIB）系统的领先供应商,它结合了其离子源和离子植入系统的最佳特性。691能够生产可广泛应用的高精度纳米结构。它能够在纳米范围内铣削很小的特征，使其适合在半导体、金和其他导体等材料上工作。GATAN 691的铣削室由超纯化不锈钢构成，为清洁铣削工具提供低背景污染水平。691的离子源是液态金属离子源（LMIS）。这样就可以实现高分辨率的铣削图样,并具有非常低的能量和对样品的最小损害。GATAN 691还配备了离子检测器和控制面板，用于监控和调整铣削过程。691是高度自动化的,允许在系统上运行各种自动化程序,从而节省时间并为研究人员提供简化的工作流程。该单元配备了多种工艺控制程序，以确保铣削工艺可以根据用户的需要进行定制。要进行离子铣削，GATAN 691需要一台​​氙气进出口机。氙气用于真空腔室并保持腔室清洁。此外，691有等离子体辅助离子铣削工具，有助于提高离子束稳定性，减少离子束侵蚀。GATAN 691是生产纳米结构的强大工具，精度极高，效果极佳。其低背景污染、自动化特性和强大的离子铣削功能使其成为研究半导体和各种其他设备的重要工具。