二手 GATAN 691 #9106181 待售

GATAN 691是一种高保真离子铣削设备，设计用于超精密材料去除和表面改性过程，用于各种应用，如制作材料研究样品和微观结构分析。这是一个三轴级控制和真空兼容的系统，可以精确地放置和放置离子撞击方向，在所有轴上的精度± 0.1°。离子铣削可以在高分辨率成像模式（HRIM）、低压或高压蚀刻中进行。该装置利用液氮冷却的碳丝电子枪产生高能离子，将一束离子束引向底物。采用可变电压电源调制光束电流密度，用于控制和精确的离子铣削。具有六面孔径的透射式真空室减少了电子轰击，增强了束点聚焦。MillSpec™控制器允许完全控制所有电源、工件和腔室参数。691采用了改进的功能,例如增强了指向稳定性、聚焦基板的精确光束、更快的吞吐量和比其前身更少的维护。它包括一个可选的闭锁机器（CLS）,它允许在处理过程中在任何反应性或惰性气氛中使用材料。此外，该工具还具有用于高分辨率成像的静电和磁性清洁环境，包括用户可以快速发射离子束的可变占空比。该资产采用专门设计的低压发射器，可同时研磨、蚀刻和涂层样品，直径可达25毫米。此模型使用"过渡排除屏蔽"（TES）,它可以容纳厚度高达0.5mm的精细曲面的样本。该设备配备了专利的DINO™节点旋转装置，能够在控制和监测样品倾斜角的同时进行样品装卸。整个系统被封闭在一个紧凑的机柜中,并提供内置的安全功能和多个警报,在铣削过程中处理所有操作参数。