二手 GATAN 691 #9253807 待售

GATAN 691是一种"离子铣削"设备，一种用于制造和检验纳米级样品的物理蚀刻，如半导体器件。该系统由离子源、电源、真空室、各种光束集中器和数字自动化软件组成。该装置的精密性能可降至0.1纳米精度。它能够蚀刻到150纳米的深度，是现有最精确可靠的离子铣削系统之一。691由耐用不锈钢和其他耐锈材料构成，旨在确保长期可靠运行。机器的基本成份是两个离子源，一个散布着移植物，一个移植物和一个rypto。的主要来源，其大电流和能量密度导致更快的蚀刻。该工具的低颗粒中和器也允许更高的蚀刻速率性能。The源用于更高能量的铣削和成像应用。这两个源都装在一个真空室中，有一个精细的冷却资产和各种光束集中器。该设计确保了可靠的操作和最大的性能。GATAN 691由400瓦直流电源供电，通过数字自动化和软件控制。包括一个自动控制面板来编程和监控模型的性能,其设备能够分析多掩蔽晶片和样品。系统还可以执行各种各样的成像和分析程序。这些包括X射线光谱、X射线光束表面映射、机械分析、光学微型集成反射光谱等。这种广泛的分析工具使得它成为纳米级器件制造质量保证的理想选择。最后,内置了安全功能,以防止与离子铣削相关的任何潜在危害。这包括在发生紧急情况时自动关闭电源的自动旋转安全装置。其他机载安全系统测量和维护机器的真空压力，以及防止意外错误的离子束。综上所述，691是最可靠、最精确的离子铣削系统之一。它能够以极高的精确度蚀刻纳米级样品，并提供各种各样的分析和成像程序，以确保纳米级器件生产的质量保证。它的多种安全功能还确保了对用户和工具本身的最高保护级别。