二手 GATAN 691 #9278092 待售
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GATAN 691是一种用于样品制备的离子铣削设备。它是一种物理气相沉积(PVD)系统,利用反应性离子在试样表面上产生材料薄膜。691用于制造极薄的样品,用于电子显微镜(SEM/TEM/STEM)成像。GATAN 691将不同的过程结合成一个单元,包括溅射离子蚀刻(SI)、磁控管溅射沉积和化学机械平面化(CMP)。691由三个都附着在基座或基座上的腔室组成。第一室是蚀刻室,在其中放置试样进行离子蚀刻。样品由四个样品支架定位,通过控制离子角度和束电流来确定蚀刻速率。腔室中的电动机移动样品支架,以根据需要增加曝光时间,以获得所需的蚀刻速率。GATAN 691的第二室是磁控管溅射沉积室。该腔室用于将金和铬的金属薄膜沉积到样品的蚀刻表面。这样做是为了形成样品的电接触。沉积速率可调,以匹配样品的蚀刻速率。691的第三室是化学机械平面化室。该室用于通过抛光沉积和蚀刻残留物来清洁和光滑样品表面。该腔室使用磨料介质,如金刚石或氧化铝,结合加压流体从试样表面机械去除材料。此过程可用于创建平坦、均匀的曲面。总体而言,GATAN 691是标本制备和稀释的绝佳工具。它将多个进程组合到一台机器中,并且高度可定制以满足用户的需求。此外,由于体积小,它几乎不需要地板空间,因此适合在实验室或教育环境中使用。
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