二手 HITACHI IML-4-1 #9283962 待售

HITACHI IML-4-1离子铣削设备是一种先进的材料溅射蚀刻系统.它专门设计用于将金属、绝缘体和/或氧化物材料的薄膜沉积在多种基材上。该机组使用充有交流稳定电源的高压，然后在真空室内部电离。带正电和负电的离子随后从电源中释放出来，并加速穿过真空室与材料基板碰撞，造成物理和化学侵蚀。IML-4-1台机器采用4轴、负载锁、腔室，基板安装在旋转夹具上。材料放在基板支架上，夹具装入腔室。然后密封腔室，然后将工具加压到高真空水平。资产的最大压力为5x10-7 Torr，最小射频功率为30瓦，工作温度可达200 °C。RF功率通过自动调整功能进行调整,以获得最佳效果。离子铣削模型的计算机控制过程监视器为用户提供了对整个过程的直接实时分析。这有助于确保精密蚀刻,并以极低的失真实现超高蚀刻速度。此外，设备还配备了自动气流监视器，因此用户可以确保一致的蚀刻环境。该系统的设计考虑到了安全性。它有一个紧急关闭开关，以确保用户不会过度加压腔室。此外，该装置能够监测真空水平，并在真空水平降至设定值以下时自动关闭机器。总体而言,HITACHI IML-4-1离子铣削工具是一种先进的溅射蚀刻资产,旨在在各种材料基板上提供高精度蚀刻结果。它的计算机控制过程和气流监测器确保最佳的蚀刻环境，而其安全特性有助于防止过度加压和其他事故。