二手 ION TECH MPS-3000 FC #9157317 待售

ION TECH MPS-3000 FC
ID: 9157317
Ion source controller.
ION TECH MPS-3000 FC是一种专用的离子蚀刻溶液,利用气簇源离子铣削技术,产生精确、高质量的微结构表面光洁度。这种离子铣削设备具有高度可调的扫描运动,允许在各种材料上进行受控和广泛的蚀刻应用。其紧凑、刚性的设计使其能够用于基准和工业应用。ION TECH MPS 3000 FC离子铣削系统由真空室、离子源、可调扫描运动单元、加热背板和PC控制控制机组成。该工具由一个300瓦的微波离子源提供动力,该源由基于氟碳的反应气体供气。然后,这种气体被高频电压电离,并被电场加速,产生集中在待加工材料表面的离子簇。在蚀刻周期MPS-3000, FC利用可调节的扫描运动资产来控制离子束的位置,并在整个表面提供均匀的蚀刻轮廓。可调扫描速率特征允许从浅到深的各种蚀刻深度。此外,加热的背板有助于最大程度地减少基板表面损坏和增加均匀性.MPS 3000 FC还具有用于精确设置和监控蚀刻过程的数字控制模型。控制设备允许远程编程和执行多个蚀刻周期,并且可以配置为在每个周期中自动调整热处理参数。ION TECH MPS-3000 FC是一种可靠和通用的离子铣削系统,旨在在一系列工业应用中生产高精度和高质量的微结构曲面。由于它能够提供精确的蚀刻轮廓以及广泛的可配置性和灵活性,因此是一个绝佳的选择。
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