二手 ION TECH PlasmaFab 340 #9358374 待售

ION TECH PlasmaFab 340是一种先进的等离子体蚀刻设备，设计用于半导体技术中的精密微加工。它是一种离子铣削系统，使用高电荷离子从工件表面去除材料。与传统铣削方法相比，离子铣削工艺不涉及工件与切削刀具的物理接触，而是使用高能离子切入材料。PlasmaFab 340的核心成分是RF驱动的离子源。该源由电离子、磁场限制室、发电源和线性加速器组成。电离子使用电子枪和振动机制为正负离子充电和加速，直至线性加速器的最大能量。然后将这些离子指向目标工件基板以蚀刻掉材料。该单元还包括一个晶片级，用于保持基板在适当的方向均匀蚀刻。此阶段能够进行大面积扫描以及单点站点处理。晶圆架也可用于调节基板与离子源之间的距离，以最大限度地提高蚀刻效率和均匀性。机器配备了自动端点检测工具，允许用户监控蚀刻过程，并在所需的物料去除水平上停止操作。这提供了一种有效的控制过程和确保最佳性能的方法。ION TECH PlasmaFab 340能够精确蚀刻,功能尺寸可达50 nm,适用于各种高级工艺应用。可用于单掩模光刻、接触窗蚀刻、高纵横比蚀刻、掺杂、化学机械平面化及相关工艺等应用。该资产高度可靠和坚固,需要最少的维护和设置。结合其低成本，使其成为半导体行业先进蚀刻和微加工应用的理想解决方桉。