二手 ION TECH / VEECO Sourcerer #9156278 待售

ION TECH/VEECO Sourcerer是一种用于半导体、金属和合金纳米加工的离子铣削系统。这种尖端工具为各种材料和设备提供精确、高质量的蚀刻。VEECO Sourcerer的主要特点是能够使用聚焦离子束（FIB）以精确的精度创建精细、纳米级的结构和特征。该系统由容纳离子源的真空室、扫描电子显微镜（SEM）和标本级组成。样品放在标本台上，可以三维操纵，让FIB从所需的精确角度撞击样品。离子束可以在非常精确的位置和深度蚀刻样品。使用SEM实时监控作业,并可根据需要调整结果。ION TECH SOURCERER的FIB源是在高能量下操作的，可以输送不同材料的离子/原子，如氙气、氙气或氧气。离子通常通过栅极和静电透镜加速，然后以高达40千伏的电压撞击样品。Sourcerer还提供高达100nA的可变FIB束电流，可根据蚀刻区域进行调整。在蚀刻过程中，真空压力和目标基板温度也可以被操纵。这样可以更好地控制蚀刻特性。可以精确控制蚀刻程度、蚀刻深度和侵蚀速率。此外，该系统还可以使用不同类型的探测器、光束栅格和电子除尘器离子进行定制。这样可确保在整个样品上均匀蚀刻,从而实现良好的特征分辨率。最后,ION TECH/VEECO Sourcerer采用用户友好界面构建,易于操作,从而提高了质量和效率。VEECO Sourcerer提供全面的特性和技术组合，使其成为纳米级半导体制造、金属蚀刻和纳米加工的完美工具。这个用途广泛的单元可以以极高的精度和速度创造出错综复杂、高品质的特性和元件，使其成为半导体行业中可靠有效的工具。