二手 IONTECH IBD #293619172 待售

IONTECH IBD是一种高分辨率的离子铣削设备，专门设计用于制造、原型设计和研究用途。它利用高温等离子体蚀刻掉材料，包括砷化氙（GaAs）和聚酰亚胺底物。IBD特别适合于薄膜器件的制造，包括微机电和纳米机电系统（MEMS/NEMS）。该系统采用溅射和离子铣削室，能够泵送到20毫升的底压。铣削过程涉及使用高能离子束的氙气，它轰击待加工材料的表面。同时施加直流偏置电压控制蚀刻深度。当离子穿透材料时，它们导致顶层被喷出，形成坑、沟和结构，大小范围从微米到纳米不等。IONTECH IBD还具有可调节的精细聚焦透镜，允许精确操纵光束电流、电压和脉冲持续时间等光束参数。因此,用户可以轻松调整铣削过程,以创建所需的结构尺寸和深度。使用温度控制的波纹管单元和集成的冷却剂旁路,铣削头可以很容易地移动,并以很高的精度围绕材料表面定位。这确保了高分辨率和重复性，同时防止损坏基板。此外，IBD还配备了先进的测量和数据测井能力，使用户能够监测关键铣削参数，如材料去除速率和离子能级。这些数据可用于分析铣削过程,深入了解该过程,并使用户能够优化机器以获得所需的结果。最后,IONTECH IBD具有多层铣削室,可支撑多种基板并减少刀具污染,从而允许连续的高精度设备制造。此外,OS-3操作软件还自动执行许多日常操作任务。综上所述,IBD是一种高级离子铣削工具,专为制造、原型设计和研究任务而设计。它的高分辨率能力、可调光束参数和数据记录功能确保了精确的结果和高效的操作。