二手 LAM STRATA-3 #293609722 待售

LAM STRATA-3（低能离子铣削）是为各种材料加工应用而设计的现代离子铣削设备。它非常适合需要低能离子蚀刻的应用，例如清洁、图样化和平面化。该系统由扫描头、真空室、晶片级和高压源组成。扫描头提供了对整个样品区域的广域粒子束扫描控制。真空室有助于保持工作区域的受控真空，并与扫描头相连。晶片级有利于样品在真空室中的放置。最后,使用HV源来启用光束电流。该单元由三个离子铣削枪提供动力。它对小颗粒具有较高的耐受性，用于去除样品材料的顶层而不损坏底层。该机兼具低能量和高能量枪，可用于各种应用。该工具还配备了一个新开发的水动力室，产生强大的水动力流动，减少离子束中的离子背景。LAM-STRATA-3具有独特的晶片处理资产,可确保晶片在离子枪运行时保持在原位。晶圆电源、卡盘和冷却系统都集成到离子铣削模型中。卡盘在离子铣削过程中保持晶片，而供应设备则确保晶片精确地呈现在离子枪上。冷却系统通过控制晶圆的温度，有助于减少吸热，并有助于更好的蚀刻结果。该单元与不同的材料兼容，如铝和钛。它具有进行连续蚀刻处理的能力，可以蚀刻高达50微米深的样品。为LAM-LAM STRATA-3开发的软件允许处理无限数量的晶圆。此外，该机的特点是室内填充和清洗，创造一个清洁和超清洁的环境。LAM-STRATA-3是各种不同材料加工应用的理想工具。它以经济实惠的价格提供了强大而可靠的解决方桉。该资产设计具有先进的特性，如高离子束电流和水动力室，为用户提供最好的结果。